标题：光刻机的“隐形保镖”：曝光装置空气隔振器揭秘配资门户官方平台
在芯片制造的“心脏”——光刻机里，曝光装置必须稳如磐石！哪怕一丝微小的振动，都可能导致硅片上刻画的电路图案模糊报废。空气隔振器就是它的“隐形保镖”，其设计是精密制造的关键。
核心原理：
想象一张充满气的悬浮气垫床。空气隔振器核心是一个密封气室（气囊），内部充有压缩空气（常用氮气）。当地面振动传来，气垫内的空气如同缓冲垫，吸收并化解了大部分冲击能量，使放置其上的精密曝光装置保持平稳。
设计要点：
“超级软”的气囊： 气囊材质（高强度橡胶或复合材料）和形状设计使其非常“软”，意味着它自身的固有频率极低（通常在0.5~3Hz）。根据隔振原理，频率越低，隔振效果越好，能有效隔离设备运行、脚步声、交通等常见的低频振动。
“聪明”的高度控制： 设备重量变化或人员走动会导致气囊高度变化。设计必须包含精密的高度控制阀，自动调节进气/排气配资门户官方平台，确保曝光平台始终稳定在预设高度，维持最佳光学对准。
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