
标题:光刻机的“隐形保镖”:曝光装置空气隔振器揭秘配资门户官方平台
在芯片制造的“心脏”——光刻机里,曝光装置必须稳如磐石!哪怕一丝微小的振动,都可能导致硅片上刻画的电路图案模糊报废。空气隔振器就是它的“隐形保镖”,其设计是精密制造的关键。
核心原理:
想象一张充满气的悬浮气垫床。空气隔振器核心是一个密封气室(气囊),内部充有压缩空气(常用氮气)。当地面振动传来,气垫内的空气如同缓冲垫,吸收并化解了大部分冲击能量,使放置其上的精密曝光装置保持平稳。
设计要点:
“超级软”的气囊: 气囊材质(高强度橡胶或复合材料)和形状设计使其非常“软”,意味着它自身的固有频率极低(通常在0.5~3Hz)。根据隔振原理,频率越低,隔振效果越好,能有效隔离设备运行、脚步声、交通等常见的低频振动。
“聪明”的高度控制: 设备重量变化或人员走动会导致气囊高度变化。设计必须包含精密的高度控制阀,自动调节进气/排气配资门户官方平台,确保曝光平台始终稳定在预设高度,维持最佳光学对准。
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